教學大綱表
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課程名稱 (中文) 薄膜技術
(英文) Thin Film Technology
開課單位 電機工程研究所
課程代碼 E4150
授課教師 施文欽
學分數 3.0 必/選修 選修 開課年級 研究所
先修科目或先備能力:普通物理
課程概述與目標: 薄膜是實踐電子元件輕薄短小,低損耗能量之關鍵技術,薄膜技術的進展與表面科學之導入,使固態電子產品之進一步發展得以靈活設計與精確控制其品質。本課程目標為闡述薄膜相關技術之物理概念,同時與簡單之定量計算相結合。
教科書 柯賢文;表面與薄膜處理技術(第三版);全華圖書
參考教材 羅吉宗;薄膜科技與應用(第四版);全華圖書
課程大綱 學生學習目標 單元學習活動 學習成效評量 備註
單元主題 內容綱要
1 CH1 緒論 1.1 表面處理的意義
1.2 表面處理的應用
1.3 表面處理的分類
瞭解表面與薄膜處理計數之基本觀念
  • 討論
  • 講授
  •  
    2 CH2 基本設備 2.1 溫度的量測
    2.2 真空系統
    瞭解乾式鍍膜技術之基本設備
  • 討論
  • 講授
  •  
    3 CH 3 電漿 3.1 電漿的產生
    3.2 電漿的特性
    3.3 電漿的化學反應
    3.4 電漿在表面技術上的應用
    瞭解電漿的特性及其在薄膜技術上的應用
  • 討論
  • 講授
  • 作業
  •  
    4 CH4 物理蒸鍍 4.1 熱力學
    4.2 氣體動力學
    4.3 蒸鍍
    4.4 蒸鍍設備
    瞭解蒸鍍之原理、設備及其應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    5 CH4 物理蒸鍍 4.5 合金蒸鍍
    4.6 化合物蒸鍍
    4.7 應用
    瞭解蒸鍍之原理、設備及其應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    6 CH 5 濺射鍍膜 5.1 粒子的撞擊
    5.2 動能的轉移
    5.3 撞擊效應
    5.4 濺射的方法
    5.5 濺射係數
    瞭解濺射鍍膜之原理、技術及應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    7 CH 5 濺射鍍膜 5.6 濺射鍍膜技術
    5.7 靶材
    5.8 濺鍍和熱蒸鍍的比較
    5.9 應用
    瞭解濺射鍍膜之原理、技術及應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    8 CH6 化學氣相蒸鍍 6.1 化學問題
    6.2 熱力學的問題
    6.3 化學動力學的問題
    瞭解化學氣相蒸鍍之原理、設備及應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    9 期中考 期中考 瞭解同學學習成效
  • 期中考
  • 作業
  •  
    10 CH8 薄膜的成長及微結構 瞭解薄膜的成長原理 8.1 表面清理
    8.2 薄膜的成長
  • 討論
  • 講授
  •  
    11 CH8 薄膜的成長及微結構 8.3 微結構
    8.4 磊晶
    瞭解薄膜的成長原理
  • 討論
  • 講授
  •  
    12 CH9 薄膜特性及量測 9.1 厚度
    9.2 薄膜特性
    瞭解薄膜特性之量測
  • 討論
  • 講授
  •  
    13 CH9 薄膜特性及量測 9.3 表面分析儀器
    9.4 其他表面分析儀器
    瞭解薄膜特性之量測
  • 討論
  • 講授
  •  
    14 CH10 表面蝕刻及微機電系統 10.1 圖樣化及蝕刻
    10.2 微機電系統
    10.3 矽製程
    瞭解表面蝕刻及微機電系統之原理及應用
  • 討論
  • 講授
  • 作業
  •  
    15 CH12 表面的物理化學性質 12.1 表面張力
    12.2 電濕
    12.3 LB薄膜
    12.4 自組薄膜
    瞭解表面的物理化學性質對薄膜成長之影響
  • 討論
  • 講授
  •  
    16 CH 7 液相表面處理 7.1 前處理
    7.2 無極電鍍
    7.3 取代反應
    7.4 化成被覆
    瞭解液相表面處理之原理、技術與應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    17 CH 7 液相表面處理 7.5 電鍍
    7.6 陽極處理
    7.7 電鑄
    7.8 廢水處理
    瞭解液相表面處理之原理、技術與應用
  • 討論
  • 講授
  • 報告
  •  
    18 期末考 期末考 瞭解同學學習成效
  • 期末考
  • 學期總成績
  • 作業
  •  

    教學要點概述:
    教材編選: □ 自編教材 ■ 教科書作者提供
    評量方法: 期末考:30%   期中考:30%   其他評量:5%   報告:30%   作業:5%  
    教學資源: ■ 教材電子檔 □ 課程網站
    扣考規定:http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504