E4150 教學大綱表

教學大綱表 (112學年度第2學期)

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課程名稱 Course Title	(中文) 薄膜技術 (英文) Thin Film Technology			開課單位 Departments	電機工程學系
				課程代碼 Course No.	E4150
授課教師 Instructor	施文欽
學分數 Credit	3.0	必/選修 core required/optional	選修	開課年級 Level	大四
先修科目或先備能力(Course Pre-requisites)：普通物理
課程概述與目標(Course Overview and Goals)：薄膜是實踐電子元件輕薄短小，低損耗能量之關鍵技術，薄膜技術的進展與表面科學之導入，使固態電子產品之進一步發展得以靈活設計與精確控制其品質。本課程目標為闡述薄膜相關技術之物理概念，同時與簡單之定量計算相結合。
教科書(Textbook)	柯賢文；表面與薄膜處理技術（第三版）；全華圖書
參考教材(Reference)	羅吉宗；薄膜科技與應用（第四版）；全華圖書

課程大綱 Syllabus			學生學習目標 Learning Objectives	單元學習活動 Learning Activities	學習成效評量 Evaluation	備註 Notes
序 No.	單元主題 Unit topic	內容綱要 Content summary	學生學習目標 Learning Objectives	單元學習活動 Learning Activities	學習成效評量 Evaluation	備註 Notes
1	CH 1 緒論	1.1 表面處理的意義 1.2 表面處理的應用 1.3 表面處理的分類	瞭解表面與薄膜處理計數之基本觀念	討論講授
2	CH 2 基本設備	2.1 溫度的量測 2.2 真空系統	瞭解乾式鍍膜技術之基本設備	討論講授
3	CH 3 電漿	3.1 電漿的產生 3.2 電漿的特性 3.3 電漿的化學反應 3.4 電漿在表面技術上的應用	瞭解電漿的特性及其在薄膜技術上的應用	討論講授
4	CH 4 物理蒸鍍	4.1 熱力學 4.2 氣體動力學 4.3 蒸鍍 4.4 蒸鍍設備	瞭解蒸鍍之原理、設備及其應用	討論講授
5	CH 4 物理蒸鍍	4.5 合金蒸鍍 4.6 化合物蒸鍍 4.7 應用	瞭解蒸鍍之原理、設備及其應用	討論講授
6	CH 5 濺射鍍膜	5.1 粒子的撞擊 5.2 動能的轉移 5.3 撞擊效應 5.4 濺射的方法 5.5 濺射係數	瞭解濺射鍍膜之原理、技術及應用	討論講授
7	CH 5 濺射鍍膜	5.6 濺射鍍膜技術 5.7 靶材 5.8 濺鍍和熱蒸鍍的比較 5.9 應用	瞭解濺射鍍膜之原理、技術及應用	討論講授
8	CH 6 化學氣相蒸鍍	6.1 化學問題 6.2 熱力學的問題 6.3 化學動力學的問題	瞭解化學氣相蒸鍍之原理、設備及應用	討論講授
9	期中考	期中考	瞭解同學學習成效		期中考
10	CH 8 薄膜的成長及微結構	瞭解薄膜的成長原理	8.1 表面清理 8.2 薄膜的成長	討論講授
11	CH 8 薄膜的成長及微結構	8.3 微結構 8.4 磊晶	瞭解薄膜的成長原理	討論講授
12	CH9 薄膜特性及量測	9.1 厚度 9.2 薄膜特性	瞭解薄膜特性之量測	討論講授
13	CH9 薄膜特性及量測	9.3 表面分析儀器 9.4 其他表面分析儀器	瞭解薄膜特性之量測	討論講授
14	期末報告	期末報告	期末報告	心得發表個案研究閱讀討論	報告
15	期末報告	期末報告	期末報告	心得發表個案研究閱讀討論	報告
16	期末考	期末考	瞭解同學學習成效		期末考

彈性教學週活動規劃

序 No.	實施期間 Period	實施方式 Content	教學說明 Teaching instructions	彈性教學評量方式 Evaluation	備註 Notes
1	起:2024-06-10 迄:2024-06-23	2.非同步線上課程 Asynchronous online course	CH 10 表面蝕刻及微機電系統 CH 11 表面的物理化學性質	繳交課後筆記

教學要點概述：
1.自編教材 Handout by Instructor：
■ 1-1.簡報 Slids
□ 1-2.影音教材 Videos
□ 1-3.教具 Teaching Aids
■ 1-4.教科書 Textbook
□ 1-5.其他 Other
□ 2.自編評量工具/量表 Educational Assessment
□ 3.教科書作者提供 Textbook

成績考核 Performance Evaluation：作業：10% 報告：20% 期中考：25% 期末考：25% 其他評量：10% 彈性教學：10%

教學資源(Teaching Resources)：
■ 教材電子檔(Soft Copy of the Handout or the Textbook)
□ 課程網站(Website)
教學相關配合事項：他評量:點名一堂課未到,扣總平均兩分，遲到或請假扣一分。
扣考規定：http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504