教學大綱表 (112學年度 第1學期)
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課程名稱
Course Title
(中文) 真空技術
(英文) Vacuum Technology
開課單位
Departments
電機工程學系
課程代碼
Course No.
E4180
授課教師
Instructor
施文欽
學分數
Credit
3.0 必/選修
core required/optional
選修 開課年級
Level
大四
先修科目或先備能力(Course Pre-requisites):普通物理
課程概述與目標(Course Overview and Goals): 介紹真空技術的基礎與應用
教科書(Textbook) 蘇青森 著、真空技術精華、五南出版社
參考教材(Reference) 鄭鴻斌 朱承杰 譯、畫說真空技術、書泉出版社
課程大綱 Syllabus 學生學習目標
Learning Objectives
單元學習活動
Learning Activities
學習成效評量
Evaluation
備註
Notes

No.
單元主題
Unit topic
內容綱要
Content summary
1 課程說明 課程主題,活動安排,成績分配,分組,…說明 課程主題,活動安排,成績分配,分組,…說明 講授
 
2 真空的基本觀念 1.1 從歷史發展認識真空
1.2 絕對真空與真空的定義
1.3 真空壓力與真空度
1.4 自然界的真空
1.5 真空技術的基本量
1.6 真空系統的特徵
1.7 真空應用
瞭解真空的基本觀念 講授
心得發表
期中考
 
3 真空中的氣體與氣流 2.1 氣體與真空壓力
2.2 部分壓力與總壓力
2.3 真空中的氣流形態
2.4 真空區分
2.5 真空有關的氣體理論
瞭解真空有關的氣體理論 講授
心得發表
期中考
 
4 產生真空的辦法 3.1 真空幫浦
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
3.4 抽真空系統的幫浦組合
瞭解產生真空的辦法 講授
心得發表
期中考
 
5 產生真空的辦法 3.1 真空幫浦
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
3.4 抽真空系統的幫浦組合
瞭解產生真空的辦法 講授
心得發表
期中考
 
6 產生真空的辦法 3.1 真空幫浦
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
3.4 抽真空系統的幫浦組合
瞭解產生真空的辦法 講授
心得發表
期中考
 
7 產生真空的辦法 3.1 真空幫浦
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
3.4 抽真空系統的幫浦組合
瞭解產生真空的辦法 講授
心得發表
期中考
 
8 期中考 瞭解同學學習成效 瞭解同學學習成效 期中考
 
9 真空測量 4.1 真空量測的基本量
4.2 真空中氣體的壓力
4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
4.5 部分壓力分析儀
4.6 真空計的校正
4.7 抽氣速率的測定
4.8 氣流通量的測定
4.9 氣導的測定
瞭解真空測量 講授
心得發表
期末考
 
10 真空測量 4.1 真空量測的基本量
4.2 真空中氣體的壓力
4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
4.5 部分壓力分析儀
4.6 真空計的校正
4.7 抽氣速率的測定
4.8 氣流通量的測定
4.9 氣導的測定
瞭解真空測量 講授
心得發表
期末考
 
11 測漏技術與清潔方法 6.1 真空系統的漏氣
6.2 找漏與堵漏
6.3 真空系統的污染
6.4 清潔的方法
6.5 真空系統烘烤
瞭解測漏技術與清潔方法  
12 真空製程 7.1 常用的真空製程
7.2 高科技真空製程
7.3 鍍膜技術簡介
瞭解真空製程  
13 期末報告 Final reports related to vacuum technology applications Final reports related to vacuum technology applications 心得發表
個案研究
閱讀討論
報告
 
14 期末報告 Final reports related to vacuum technology applications Final reports related to vacuum technology applications 心得發表
個案研究
閱讀討論
報告
 
15 期末報告 Final reports related to vacuum technology applications Final reports related to vacuum technology applications 心得發表
個案研究
閱讀討論
報告
 
16 期末考 瞭解同學學習成效 瞭解同學學習成效 期末考
 
彈性教學週活動規劃

No.
實施期間
Period
實施方式
Content
教學說明
Teaching instructions
彈性教學評量方式
Evaluation
備註
Notes
1 起:2023-12-04 迄:2023-12-17 3.實作 Practical class 真空鍍膜實驗_見習課程 見習報告


教學要點概述:
教材編選(Teaching Materials):
■ 1-1.簡報 Slids
□ 1-2.影音教材 Videos
□ 1-3.教具 Teaching Aids
■ 1-4.教科書 Textbook Slids
□ 1-5.其他 Other
□ 2.自編評量工具/量表 Educational Assessment
□ 3.教科書作者提供 Textbook

成績考核 Performance Evaluation: 期末考:25%   期中考:25%   其他評量:20%   報告:20%   彈性教學:10%  

教學資源(Teaching Resources):
■ 教材電子檔(Soft Copy of the Handout or the Textbook)
□ 課程網站(Website)
教學相關配合事項:其他評量:點名不到 一堂課扣兩分 遲到或請假扣一分
扣考規定:http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504