| 課程名稱 |
(中文) 真空技術 (英文) Vacuum Technology |
開課單位 | 電機工程學系 | ||
| 課程代碼 | E4180 | ||||
| 授課教師 | 施文欽 | ||||
| 學分數 | 3.0 | 必/選修 | 選修 | 開課年級 | 大四 |
| 先修科目或先備能力：普通物理 | |||||
| 課程概述與目標： 介紹真空技術的基礎與應用 | |||||
| 教科書 | 蘇青森 著、真空技術精華、五南出版社 | ||||
| 參考教材 | 鄭鴻斌 朱承杰 譯、畫說真空技術、書泉出版社 | ||||
| 課程大綱 | 學生學習目標 | 單元學習活動 | 學習成效評量 | 備註 | ||
| 週 | 單元主題 | 內容綱要 | ||||
| 1 | 真空的基本觀念 | 1.1 從歷史發展認識真空 1.2 絕對真空與真空的定義 1.3 真空壓力與真空度 1.4 自然界的真空 1.5 真空技術的基本量 1.6 真空系統的特徵 |
瞭解真空的基本觀念 |
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| 2 | 產生真空的辦法 | 3.1 真空幫浦 3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦 3.4 抽真空系統的幫浦組合 |
瞭解產生真空的辦法 |
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| 3 | 真空測量 | 4.1 真空量測的基本量 4.2 真空中氣體的壓力 4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計 4.6 真空計的校正 4.7 抽氣速率的測定 4.8 氣流通量的測定 4.9 氣導的測定 4.5 部分壓力分析儀 |
瞭解真空測量 |
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| 4 | 測漏技術與清潔方法 | 6.1 真空系統的漏氣 6.2 找漏與堵漏 6.3 真空系統的污染 6.4 清潔的方法 6.5 真空系統烘烤 |
瞭解測漏技術與清潔方法 |
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| 5 | 真空製程 | 7.1 常用的真空製程 7.2 高科技真空製程 7.3 鍍膜技術簡介 |
瞭解真空製程 |
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教學要點概述： |