教學大綱表 Syllabus
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課程名稱
Course Title
(中文) 真空技術
(英文) Vacuum Technology
開課單位
Departments
電機工程學系
課程代碼
Course No.
E4180
授課教師
Instructor
施文欽
學分數
Credit
3.0 必/選修
core required/optional
選修 開課年級
Level
大四
先修科目或先備能力Course Pre-requisites:普通物理
課程概述與目標 Course Overview and Goals: 介紹真空技術的基礎與應用
教科書
Textbook
蘇青森 著、真空技術精華、五南出版社
參考教材
Reference
鄭鴻斌 朱承杰 譯、畫說真空技術、書泉出版社
課程大綱
Syllabus
學生學習目標
Learning Objectives
單元學習活動
Learning Activities
學習成效評量
Evaluation
備註
Notes

Week
單元主題
Unit topic
內容綱要
Content summary
1 真空的基本觀念 1.1 從歷史發展認識真空
1.2 絕對真空與真空的定義
1.3 真空壓力與真空度
1.4 自然界的真空
1.5 真空技術的基本量
1.6 真空系統的特徵
瞭解真空的基本觀念
  • 討論
  • 講授
  •  
    2 產生真空的辦法 3.1 真空幫浦
    3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
    3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
    3.4 抽真空系統的幫浦組合
    瞭解產生真空的辦法
  • 討論
  • 講授
  • 期中考 Midterm
  •  
    3 真空測量 4.1 真空量測的基本量
    4.2 真空中氣體的壓力
    4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
    4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
    4.6 真空計的校正
    4.7 抽氣速率的測定
    4.8 氣流通量的測定
    4.9 氣導的測定
    4.5 部分壓力分析儀
    瞭解真空測量
  • 討論
  • 講授
  •  
    4 測漏技術與清潔方法 6.1 真空系統的漏氣
    6.2 找漏與堵漏
    6.3 真空系統的污染
    6.4 清潔的方法
    6.5 真空系統烘烤
    瞭解測漏技術與清潔方法
  • 討論
  • 講授
  • 實驗 Experiment
  •  
    5 真空製程 7.1 常用的真空製程
    7.2 高科技真空製程
    7.3 鍍膜技術簡介
    瞭解真空製程
  • 討論
  • 講授
  • 期末考 Final Exam
  • 實驗 Experiment
  •  

    教學要點概述 Overview of Teaching Points:
    教材編選 Teaching Materials: □ 自編教材 Handout by Instructor ■ 教科書作者提供 Textbook
    評量方法 Evaluation: 期末考 Final Exam:20%   期中考 Midterm:20%   其他評量 Others:10%   報告 Presentation:30%   作業 Assignment:20%  
    教學資源 Teaching Resources: □ 教材電子檔 Soft Copy of the Handout or the Textbook □ 課程網站 Website
    教學相關配合事項 Other Matters Related to the Course:其他評量:點名不到, 一次扣一分。
    扣考規定 The rule of being able to take the final exam of the course:http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504