教學大綱表
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課程名稱 (中文) 真空技術
(英文) Vacuum Technology
開課單位 電機工程學系
課程代碼 E4180
授課教師 施文欽
學分數 3.0 必/選修 選修 開課年級 大四
先修科目或先備能力:普通物理
課程概述與目標: 介紹真空技術的基礎與應用
教科書 蘇青森 著、真空技術精華、五南出版社
參考教材 鄭鴻斌 朱承杰 譯、畫說真空技術、書泉出版社
課程大綱 學生學習目標 單元學習活動 學習成效評量 備註
單元主題 內容綱要
1 真空的基本觀念 1.1 從歷史發展認識真空
1.2 絕對真空與真空的定義
1.3 真空壓力與真空度
1.4 自然界的真空
1.5 真空技術的基本量
1.6 真空系統的特徵
瞭解真空的基本觀念
  • 討論
  • 講授
  •  
    2 產生真空的辦法 3.1 真空幫浦
    3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
    3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
    3.4 抽真空系統的幫浦組合
    瞭解產生真空的辦法
  • 討論
  • 講授
  • 期中考
  •  
    3 真空測量 4.1 真空量測的基本量
    4.2 真空中氣體的壓力
    4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
    4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
    4.6 真空計的校正
    4.7 抽氣速率的測定
    4.8 氣流通量的測定
    4.9 氣導的測定
    4.5 部分壓力分析儀
    瞭解真空測量
  • 討論
  • 講授
  •  
    4 測漏技術與清潔方法 6.1 真空系統的漏氣
    6.2 找漏與堵漏
    6.3 真空系統的污染
    6.4 清潔的方法
    6.5 真空系統烘烤
    瞭解測漏技術與清潔方法
  • 討論
  • 講授
  • 實驗
  •  
    5 真空製程 7.1 常用的真空製程
    7.2 高科技真空製程
    7.3 鍍膜技術簡介
    瞭解真空製程
  • 討論
  • 講授
  • 期末考
  • 實驗
  •  

    教學要點概述:
    教材編選: □ 自編教材 ■ 教科書作者提供
    評量方法: 期末考:30%   期中考:30%   實驗:40%  
    教學資源: □ 教材電子檔 □ 課程網站
    扣考規定:http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504