E4180 教學大綱表

教學大綱表 (113學年度第1學期)

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課程名稱 Course Title	(中文) 真空技術 (英文) Vacuum Technology			開課單位 Departments	電機工程學系
				課程代碼 Course No.	E4180
授課教師 Instructor	施文欽
學分數 Credit	3.0	必/選修 core required/optional	選修	開課年級 Level	大四
先修科目或先備能力(Course Pre-requisites)：普通物理
課程概述與目標(Course Overview and Goals)：介紹真空技術的基礎與應用
教科書(Textbook)	蘇青森著、真空技術精華、五南出版社
參考教材(Reference)	鄭鴻斌朱承杰譯、畫說真空技術、書泉出版社

課程大綱 Syllabus			學生學習目標 Learning Objectives	單元學習活動 Learning Activities	學習成效評量 Evaluation	備註 Notes
序 No.	單元主題 Unit topic	內容綱要 Content summary	學生學習目標 Learning Objectives	單元學習活動 Learning Activities	學習成效評量 Evaluation	備註 Notes
1	課程說明	課程主題，活動安排，成績分配，分組，…說明	課程主題，活動安排，成績分配，分組，…說明	講授
2	真空的基本觀念	1.1 從歷史發展認識真空 1.2 絕對真空與真空的定義 1.3 真空壓力與真空度 1.4 自然界的真空 1.5 真空技術的基本量 1.6 真空系統的特徵 1.7 真空應用	瞭解真空的基本觀念	講授心得發表	期中考
3	真空中的氣體與氣流	2.1 氣體與真空壓力 2.2 部分壓力與總壓力 2.3 真空中的氣流形態 2.4 真空區分 2.5 真空有關的氣體理論	瞭解真空有關的氣體理論	講授心得發表	期中考
4	產生真空的辦法	3.1 真空幫浦 3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦 3.4 抽真空系統的幫浦組合	瞭解產生真空的辦法	講授心得發表	期中考
5	產生真空的辦法	3.1 真空幫浦 3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦 3.4 抽真空系統的幫浦組合	瞭解產生真空的辦法	講授心得發表	期中考
6	產生真空的辦法	3.1 真空幫浦 3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦 3.4 抽真空系統的幫浦組合	瞭解產生真空的辦法	講授心得發表	期中考
7	產生真空的辦法	3.1 真空幫浦 3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦 3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦 3.4 抽真空系統的幫浦組合	瞭解產生真空的辦法	講授心得發表	期中考
8	期中考	瞭解同學學習成效	瞭解同學學習成效		期中考
9	真空測量	4.1 真空量測的基本量 4.2 真空中氣體的壓力 4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計 4.5 部分壓力分析儀 4.6 真空計的校正 4.7 抽氣速率的測定 4.8 氣流通量的測定 4.9 氣導的測定	瞭解真空測量	講授心得發表	期末考
10	真空測量	4.1 真空量測的基本量 4.2 真空中氣體的壓力 4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計 4.5 部分壓力分析儀 4.6 真空計的校正 4.7 抽氣速率的測定 4.8 氣流通量的測定 4.9 氣導的測定	瞭解真空測量	講授心得發表	期末考
11	測漏技術與清潔方法	6.1 真空系統的漏氣 6.2 找漏與堵漏 6.3 真空系統的污染 6.4 清潔的方法 6.5 真空系統烘烤	瞭解測漏技術與清潔方法
12	真空製程	7.1 常用的真空製程 7.2 高科技真空製程 7.3 鍍膜技術簡介	瞭解真空製程
13	期末報告	Final reports related to vacuum technology applications	Final reports related to vacuum technology applications	心得發表個案研究閱讀討論	報告
14	期末報告	Final reports related to vacuum technology applications	Final reports related to vacuum technology applications	心得發表個案研究閱讀討論	報告
15	期末報告	Final reports related to vacuum technology applications	Final reports related to vacuum technology applications	心得發表個案研究閱讀討論	報告
16	期末考	瞭解同學學習成效	瞭解同學學習成效		期末考

彈性教學週活動規劃

序 No.	實施期間 Period	實施方式 Content	教學說明 Teaching instructions	彈性教學評量方式 Evaluation	備註 Notes
1	起:2023-12-04 迄:2023-12-17	3.實作 Practical class	真空鍍膜實驗_見習課程	見習報告

教學要點概述：
1.自編教材 Handout by Instructor：
■ 1-1.簡報 Slids
□ 1-2.影音教材 Videos
□ 1-3.教具 Teaching Aids
■ 1-4.教科書 Textbook
□ 1-5.其他 Other
□ 2.自編評量工具/量表 Educational Assessment
□ 3.教科書作者提供 Textbook

成績考核 Performance Evaluation：期末考：25% 期中考：25% 其他評量：20% 報告：20% 彈性教學：10%

教學資源(Teaching Resources)：
■ 教材電子檔(Soft Copy of the Handout or the Textbook)
□ 課程網站(Website)
教學相關配合事項：其他評量：點名不到一堂課扣兩分遲到或請假扣一分
扣考規定：https://curri.ttu.edu.tw/p/412-1033-1254.php