教學大綱表 (113學年度 第2學期)
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課程名稱
Course Title		 (中文) 薄膜技術
(英文) Thin Film Technology 		開課單位
Departments		 機械與材料工程學系
課程代碼
Course No.		 T4610
授課教師
Instructor		 胡毅
學分數
Credit		 3.0 必/選修
core required/optional		 選修 開課年級
Level		 大四
先修科目或先備能力(Course Pre-requisites)：
課程概述與目標(Course Overview and Goals)：充分解說薄膜製程方法與成長經過，進而學習如何利用所學將薄膜製造技術發展到更高峰
教科書(Textbook)
參考教材(Reference)
課程大綱 Syllabus 學生學習目標
Learning Objectives		 單元學習活動
Learning Activities		 學習成效評量
Evaluation		 備註
Notes
序
No.		 單元主題
Unit topic		 內容綱要
Content summary
1 Ch1.Thin-Film Technology Thin-Film Technology Thin-Film Technology  
2 Ch2.Gas Kinetics Gas Kinetics Gas Kinetics  
3 Ch3.Vacuum Technology Vacuum Technology Vacuum Technology  
4 Ch3.Vacuum Technology Vacuum Technology Vacuum Technology  
5 Ch4.Evaporation Evaporation Evaporation  
6 Ch4.Evaporation Evaporation Evaporation  
7 Ch5.Deposition Deposition Deposition  
8 期中考 期中考 期中考  
9 Ch5.Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD), Pulse, Remote Plasma  
10 Ch5.Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD), Pulse, Remote Plasma  
11 Ch5.Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD), Pulse, Remote Plasma  
12 Ch6.MOCVD MOCVD,
Plasma polymers 		MOCVD,
Plasma polymers		  
13 Ch6.MOCVD MOCVD,
Plasma polymers 		MOCVD,
Plasma polymers		  
14 Ch7.Application(I) Opto-electric Application(I) Opto-electric,
(II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals 		Application(I) Opto-electric,
(II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals		  
15 Ch7.Application(I) Opto-electric Application(I) Opto-electric,
(II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals 		Application(I) Opto-electric,
(II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals		  
16 期末考 期末考 期末考 CVD and Application of films  
彈性教學週活動規劃
序
No.		 實施期間
Period		 實施方式
Content		 教學說明
Teaching instructions		 彈性教學評量方式
Evaluation		 備註
Notes
1 起:2024-04-19 迄:2024-06-07 2.非同步線上課程 Asynchronous online course 提供教材或影片選擇，心得報告字數400(以上) 分數將依據和提交的報告而定。


教學要點概述：
1.自編教材 Handout by Instructor：
■ 1-1.簡報 Slids
■ 1-2.影音教材 Videos
□ 1-3.教具 Teaching Aids
□ 1-4.教科書 Textbook
□ 1-5.其他 Other
□ 2.自編評量工具/量表 Educational Assessment
□ 3.教科書作者提供 Textbook

成績考核 Performance Evaluation： 期末考：30%   期中考：30%   報告：10%   彈性教學：10%   作業：20%  

教學資源(Teaching Resources)：
□ 教材電子檔(Soft Copy of the Handout or the Textbook)
□ 課程網站(Website)
扣考規定：https://curri.ttu.edu.tw/p/412-1033-1254.php