教學大綱表
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課程名稱 (中文) 薄膜技術
(英文) Thin Film Technology
開課單位 機械與材料工程學系
課程代碼 T4610
授課教師 胡毅
學分數 3.0 必/選修 選修 開課年級 大四
先修科目或先備能力:
課程概述與目標:充分解說薄膜製程方法與成長經過,進而學習如何利用所學將薄膜製造技術發展到更高峰
教科書
參考教材
課程大綱 學生學習目標 單元學習活動 學習成效評量 備註
單元主題 內容綱要
1 Ch1.Thin-Film Technology Thin-Film Technology Thin-Film Technology  
2 Ch2.Gas Kinetics Gas Kinetics Gas Kinetics  
3 Ch3.Vacuum Technology Vacuum Technology Vacuum Technology  
4 Ch3.Vacuum Technology Vacuum Technology Vacuum Technology  
5 Ch4.Evaporation Evaporation Evaporation  
6 Ch4.Evaporation Evaporation Evaporation  
7 Ch5.Deposition Deposition Deposition  
8 Ch5.Deposition Deposition Deposition  
9 期中考 期中考 期中考
  • 期中考
  •  
    10 Ch5.Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD), Pulse, Remote Plasma  
    11 Ch5.Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD), Pulse, Remote Plasma  
    12 Ch5.Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD) Chemical Vapor Deposition(CVD), Pulse, Remote Plasma  
    13 Ch6.MOCVD MOCVD,
    Plasma polymers
    MOCVD,
    Plasma polymers
     
    14 Ch6.MOCVD MOCVD,
    Plasma polymers
    MOCVD,
    Plasma polymers
     
    15 Ch7.Application(I) Opto-electric Application(I) Opto-electric,
    (II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals
    Application(I) Opto-electric,
    (II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals
     
    16 Ch7.Application(I) Opto-electric Application(I) Opto-electric,
    (II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals
    Application(I) Opto-electric,
    (II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals
     
    17 Ch7.Application(I) Opto-electric Application(I) Opto-electric,
    (II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals
    Application(I) Opto-electric,
    (II) Diamond like Carbon, (III) Biomedicals
     
    18 期末考 期末考 期末考
  • 期末考
  • CVD and Application of films  
    19 Ch1.Thin-Film Technology Thin-Film Technology Thin-Film Technology  

    教學要點概述:
    教材編選: ■ 自編教材 □ 教科書作者提供
    評量方法: 期末考:30%   期中考:30%   平時考:40%  
    教學資源: ■ 教材電子檔 □ 課程網站
    扣考規定:http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504

    大學部
    核心能力 期末考 期中考 平時考
    核心能力一 運用數學、科學及工程知識的能力 5/10 5 5 5
    核心能力二 設計與執行實驗,以及分析與解釋數據的能力 3/10 3 3 3
    核心能力三 執行機械與材料工程實務所需技術、技巧及使用現代工具之能力 1/10 1 1 1
    核心能力四 設計機械與材料工程系統、元件或製程之能力 1/10 1 1 1