教學大綱表
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課程名稱 (中文) 半導體製程技術
(英文) Semiconductor Manufacturing Technology
開課單位 材料工程學系
課程代碼 X3600
授課教師 施文欽
學分數 3.0 必/選修 選修 開課年級 大三
先修科目或先備能力:普通物理
課程概述與目標:使同學對半導體製程技術與現況有深入的瞭解
教科書 劉文超、半導體製造技術、滄海書局
參考教材 葉文冠、積體電路製程技術與品質管理、東華書局
課程大綱 學生學習目標 單元學習活動 學習成效評量 備註
單元主題 內容綱要
1 第一章 導論 1.1 半導體元件分類
1.2 半導體發展史
1.3 半導體應用與相關產品 
1.4 半導體產業
介紹半導體元件之種類與應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    2 第二章 半導體材料 2.1 半導體材料 
    2.2 矽半導體
    介紹半導體材料之發展與矽晶片之製作
  • 討論
  • 講授
  •  
    3 第二章 半導體材料 2.3 矽晶圓空片製造 
    2.4 矽晶圓清洗與潔淨室
    介紹半導體材料之發展與矽晶片之製作
  • 討論
  • 講授
  •  
    4 第三章 半導體元件 3.1 半導體元件結構 
    3.2 半導體元件特性 
    介紹半導體元件之結構與特性 
  • 討論
  • 講授
  •  
    5 第三章 半導體元件 3.2 半導體元件特性 
    3.3  MOSFET 結構發展與縮小化設計
    介紹半導體元件之結構與特性
  • 討論
  • 講授
  •  
    6 第四章 元件隔離技術 4.1 元件隔離
    4.2 傳統局部氧化隔離技術
    4.3 反階梯位井工程
    介紹元件間之隔離工程
  • 討論
  • 講授
  •  
    7 第五章 薄膜製程技術 5.1 薄膜沈積機制 
    5.2 薄膜沈積技術
    介紹薄膜沈積機制與技術
  • 討論
  • 講授
  •  
    8 第五章 薄膜製程技術 5.3 氧 化 
    5.4 導電層間的絕緣
    介紹薄膜沈積機制與技術
  • 作業
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    9 期中考 瞭解同學學習成效 瞭解同學學習成效
  • 期中考
  •  
    10 第六章 摻雜製程技術 6.1 摻 雜 
    6.2 基板摻雜
    6.3 源/汲極摻雜與汲極工程
    了解摻雜技術
  • 討論
  • 講授
  •  
    11 第七章 微影製程技術 7.1 微 影 
    7.2 光 阻 
    7.3 解析度與景深 
    7.4 光 源 
    介紹微影技術之原理與應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    12 第七章 微影製程技術 7.5 光 罩 
    7.6 光學機台 
    7.7 新型微影製程技
    介紹微影技術之原理與應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    13 第八章 蝕刻製程技術 8.1 蝕刻製程 
    8.2 濕式蝕刻的應用——不同蝕刻材料 
    8.3 乾式蝕刻的應用——不同蝕刻材料
    介紹蝕刻技術之原理與應用
  • 討論
  • 講授
  •  
    14 第十章 IC 後段製程 10.1 金屬連線架構
    10.2 金屬化需求
    10.3 金屬化製程技術
    介紹金屬化連線後段製程與相關材料
  • 討論
  • 講授
  • 報告
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    15 第十章 IC 後段製程 10.4 金屬化結構演進
    10.5 金屬材料發展
    10.6 低介電質絕緣材料
    10.7 銅金屬化製程整合 
    介紹金屬化連線後段製程與相關材料
  • 討論
  • 講授
  • 報告
  •  
    16 第九章 元件製程設計 9.1 元件的設計法則 
    9.2 臨界電壓
    針對MOSFET之設計做一有系統之說明
  • 討論
  • 講授
  • 報告
  •  
    17 第九章 元件製程設計 9.3 短通道效應 
    9.4 深次微米元件設計
    針對MOSFET之設計做一有系統之說明
  • 討論
  • 講授
  • 期末考
  • 報告
  • 作業
  •  
    18 期末考 瞭解同學學習成效 瞭解同學學習成效
  • 期末考
  •  

    教學要點概述:
    教材編選: □ 自編教材 ■ 教科書作者提供
    評量方法: 作業:30%   期中考:30%   期末考:30%   其他評量:10%  
    教學資源: ■ 教材電子檔 □ 課程網站
    教學相關配合事項:其他評量:點名一次未到,扣總平均一分
    扣考規定:http://eboard.ttu.edu.tw/ttuwebpost/showcontent-news.php?id=504